结构光调制的暗场显微缺陷三维测量
62005257
2020
F0508.应用光学
李璐璐
青年科学基金项目
工程师
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
24万元
精密光学元件；结构光调制；暗场缺陷显微；调制度分析；缺陷三维重建
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