基于结构超滑的无冲击水平滑动式RF MEMS开关研究

12002216
2020
A0805.微纳米力学与多尺度力学
向小健
青年科学基金项目
高级工程师
深圳清华大学研究院
24万元
近零摩擦;RF MEMS开关;无磨损;结构超滑;无冲击
2021-01-01到2023-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Robust microscale structural superlubricity between graphite and nanostructured surface 期刊论文 Xuanyu Huang;Tengfei Li;Jin Wang;Kai Xia;Zipei Tan;Deli Peng;Xiaojian Xiang;Bin Liu;Ming Ma;Quanshui Zheng
2 一种RF MEMS开关和电子设备 专利 向小健;郑泉水
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