基于结构超滑的无冲击水平滑动式RF MEMS开关研究
12002216
2020
A0805.微纳米力学与多尺度力学
向小健
青年科学基金项目
高级工程师
深圳清华大学研究院
24万元
结构超滑；无磨损；近零摩擦；RF MEMS开关；无冲击
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