【90607003】硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究国家自然基金项目

硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究

项目批准号： 90607003

批准年份： 2006

学科分类： A2306.声材料、换能器和测量

项目负责人：田静

资助类别：重大研究计划

负责人职称：研究员

依托单位：中国科学院声学研究所

资助金额： 180万元

关键词：微传声器;微气压传感器;芯片系统..

起止时间： 2007-01-01到2009-12-31

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序号	标题	类型	作者
1	Analysis of Coupled Electro-thermal-mechanical of Micro Gas Pressure Sensor Based on Micro-hotplate Technology	会议论文	Shao, Mingliang\|Tang, Zhenan\|Jin, Rencheng\|Zhang, Wujin\|Wang, Jiaqi\|
2	圆形聚酰亚胺硅微电容传声器制备及性能测试	期刊论文	田静\|李剑成\|汪承灏\|马军\|
3	采用曲率补偿的高PSRR基准电压源	期刊论文	杨金梅\|唐祯安\|
4	Pt/Ti electrodes of PZT thin films Patterning by novel lift-off using ZnO as a sacrificial layer	期刊论文	Xie Shu\|Wang Cheng-Hao\|Li Jun-Hong\|Xu Lian\|
5	恒温式微热板电阻真空传感器	期刊论文	余隽\|唐祯安\|汪家奇\|张凤田\|
6	Preparation and Thermal Characterization of Diamond-Like Carbon Films	期刊论文	Huang Zheng-Xing\|Liu Gui-Chang\|Tang Zhen-An\|Wang Jing\|Bai Su-Yuan\|Yu Jun\|
7	不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究	期刊论文	徐联\|解述\|李俊红\|
8	适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制	期刊论文	刘梦伟\|汪承灏\|徐联\|李俊红\|
9	A fully CMOS-compatible micro-pirani gauge based on a constant current	会议论文	Wang, Jiaqi\|Tang, Zhenan\|
10	微气压传感器测试系统的真空自动控制研究	期刊论文	张五金\|唐祯安\|金仁成\|陈涛\|
11	一种与CMOS工艺兼容的钨微热板	期刊论文	唐祯安\|汪家奇\|
12	MEMS压电水听器的研究	期刊论文	徐联\|汪承灏\|李伯权\|马军\|郝震宏\|
13	Effect of microscale gaseous thermal conduction on the thermal behavior of a buckled microbridge	期刊论文	Zhang, Fengtian\|Li, Jinfeng\|Tang, Zhenan\|Wang, Jiaqi\|
14	Thermal conductivity measurement of submicron-thick aluminium oxide thin films by a transient thermo-reflectance technique	期刊论文	Wang Jia-Qi\|Yu Jun\|Bai Su-Yuan\|Huang Zheng-Xing\|Tang Zhen-An\|
15	Effect of substrates and O2/Ar gas ratios on the structures and properties of ZnO films	期刊论文	Li, Jun-Hong\|Xu, Lian\|Wang, Cheng-Hao\|
16	A MicroPirani pressure sensor based on the tungsten microhotplate in a standard CMOS process	期刊论文	Li, Jinfeng\|Wang, Jiaqi\|Zhang, Fengtian\|Tang, Zhenan\|
17	Design and fabrication of a novel PZT films based piezoelectric micromachined ultrasonic transducers	会议论文	Liu, Mengwei\|Li, Junhong\|Wang, Chenghao\|
18	参数自调整模糊控制器在微气压传感器测控系统中的应用研究	期刊论文	张五金\|金仁成\|唐祯安\|
19	振动膜外围采用边缘开槽的硅微电容传声器研究	期刊论文	田静\|汪承灏\|徐联\|马军\|张晓辉\|
20	Thermal Characterization of Si3N4 Thin Films Using Transient Thermoreflectance Technique	期刊论文	Tang, Zhenan\|Huang, Zhengxing\|Yu, Jun\|Bai, Suyuan\|
21	外围减薄振动膜的硅微电容传声器	期刊论文	徐联\|汪承灏\|马军\|李俊红\|张晓辉\|魏建辉\|
22	Thermal conductivity of amorphous and crystalline thin films by molecular dynamics simulation	期刊论文	Bai, Suyuan\|Huang, Zhengxing\|Tang, Zhenan\|Yu, Jun\|
23	多模式ΣΔ调制器的设计及行为仿真	期刊论文	汪家奇\|李金凤\|唐祯安\|
24	圆形复合振动膜硅微压电传声器的研制	期刊论文	徐联\|李俊红\|刘梦伟\|汪承灏\|
25	Successive approximation register ADC for monolithic vacuum sensor	期刊论文	Li, Jin-Feng\|Tang, Zhen-An\|Wang, Jia-Qi\|
26	Research progress in piezoelectric mems microphones	会议论文	田静\|李俊红\|杨楚威\|汪承灏\|徐联\|
27	Monolithic integrated CMOS thermal vacuum sensor	期刊论文	Yu, Jun\|Zhang, Fengtian\|Tang, Zhen'an\|Wang, Jiaqi\|
28	基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作	期刊论文	李俊红\|徐联\|刘梦伟\|汪承灏\|马军\|
29	Fabrication and characterization of the piezoelectric microcantilever integrated with PZT thin-film microforce sensor and actuator	会议论文	Cui, Tianhong\|Wang, Liding\|Liu, Mengwei\|
30	System on chip thermal vacuum sensor based on standard CMOS process	期刊论文	Li, Jinfeng\|Wang, Jiaqi\|Tang, Zhen'an\|

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