适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
90207003
2002
A2306.声材料、换能器和测量
田静
重大研究计划
研究员
中国科学院声学研究所
200万元
微传感系统.芯片系统.
2003-01-01到2006-12-31
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- 结题摘要
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- 项目成果
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Residual stress effect and con | 会议论文 | 王敏锐*，王兢，王立鼎，陈文 |
| 2 | Antiplane shear waves from a p | 期刊论文 | BixingZhang*，Anders Bostrum & |
| 3 | Effect of preheating and annea | 期刊论文 | 王敏锐*，王兢，陈文，崔岩，王 |
| 4 | Deposition and characterizatio | 期刊论文 | 刘梦伟*，王兢，王立鼎，崔天宏 |
| 5 | Investigation of a Microcalori | 期刊论文 | 余隽*，唐祯安，张凤田等 |
| 6 | 用于薄膜热容测量的微型量热计 | 期刊论文 | 余隽*， 唐祯安， 张凤田等 |
| 7 | PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的 | 期刊论文 | 李俊红*，汪承灏，黄歆，徐联 |
| 8 | 微加热式微气压传感器测试电路的 | 期刊论文 | 江胜锋*， 金仁成，唐祯安等 |
| 9 | Preliminary study of calibrati | 期刊论文 | 崔岩*，董维杰，刘梦伟，王敏锐 |
| 10 | 基于硅基PZT微力传感器标定系统 | 期刊论文 | 崔岩*，佟建华，董维杰，王立鼎 |
| 11 | 活塞式硅微电容传声器设计 | 期刊论文 | 李剑成*，汪承灏，徐联，田静 |
| 12 | Effect of Cu Doping on Stabili | 会议论文 | |
| 13 | 基于硅微加工工艺的微热板的传热 | 期刊论文 | 余隽*，唐祯安，陈正豪等 |
| 14 | 衬底对溶胶－凝胶法准备ZnO压电 | 期刊论文 | 王敏锐*，王兢，陈文，崔岩 |
| 15 | 硅微传声器研究进展 | 期刊论文 | 田静*，汪承灏，徐联，乔东海， |
| 16 | 微桥热传感器测微小气压的研究 | 会议论文 | 张凤田*，唐祯安， 金仁成， 余 |
| 17 | A New Type of Silicon Micro-Mi | 会议论文 | Jing Tian*， Chenghao Wang， L |
| 18 | 基于非线性PCA的微气体传感器阵 | 期刊论文 | 魏广芬*，唐祯安，陈正豪，余隽 |
| 19 | Fabrication and Characterizati | 会议论文 | |
| 20 | 压电传感器材料的铁电特性研究 | 期刊论文 | 邵春玉*，王兢，刘梦伟，董维杰 |
| 21 | 圆形振动膜ZnO压电硅微传声器的 | 期刊论文 | 杨楚威，李俊红*，黄歆，汪承灏 |
| 22 | MEMS-based ZnO piezoelectric t | 会议论文 | |
| 23 | 微热板式气压传感器结构设计与热 | 期刊论文 | 张凤田*，唐祯安等 |
| 24 | 微气体传感器的稳定性测试研究 | 期刊论文 | 魏广芬*，唐祯安，陈正豪，余隽 |
| 25 | 硅微ZnO压电薄膜传声器的研制 | 期刊论文 | 杨楚威，黄歆，李俊红*，解述， |
| 26 | A Genetic Algorithm for Simult | 期刊论文 | 黄正兴*，唐祯安，许自强等 |
| 27 | 圆形振动膜硅微电容传声器 | 期刊论文 | 田静*，汪承灏，徐联，乔东海， |
| 28 | 微热板式低气压传感器的研制 | 期刊论文 | 张凤田*， 唐祯安， 余隽， 金 |
| 29 | 薄膜电子隧穿几率的数值计算方法 | 期刊论文 | 张虹霞*，唐祯安 |
| 30 | Investigation on thermal cross | 会议论文 | 余隽*，唐祯安，魏广芬等 |
| 31 | Piezoelectric microcantilevers | 期刊论文 | 刘梦伟*，崔天宏，董维杰，崔岩 |
| 32 | Measurement on the actuating a | 期刊论文 | 董维杰*，卢晓光，刘梦伟，崔岩 |
| 33 | 基于PZT薄膜的硅微压电传声器的 | 期刊论文 | 李俊红*，徐联，汪承灏 |
| 34 | Theoretical analysis of the se | 期刊论文 | 刘梦伟*，佟建华，王立鼎，崔天 |
| 35 | Numerical Analysis of Capaciti | 期刊论文 | X.M. Wang*， M.X. Li & C.H. Wa |
| 36 | Influence of Li+ dopants on th | 期刊论文 | 王敏锐*，王兢，陈文，王立鼎 |
| 37 | 基于MATLAB的微气压传感器测试系 | 期刊论文 | 陈涛*，金仁成. |
| 38 | Evaluation of momentum conserv | 期刊论文 | 黄正兴*，唐祯安 |
| 39 | Properties analysis of Mn-dope | 期刊论文 | 王兢*，陈文，王敏锐 |
| 40 | 防粘连硅微电容传声器 | 期刊论文 | 潘昕*，汪承灏，徐联，魏建辉 |
| 41 | A micro-Pirani gauge based on | 期刊论文 | 张凤田*，唐祯安等 |
| 42 | 气体传感器阵列信号的盲分离研究 | 期刊论文 | 魏广芬*，唐祯安，陈正豪，余隽 |
| 43 | Thermal analysis of a constant | 会议论文 | |
| 44 | 基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感 | 期刊论文 | 佟建华*，刘梦伟，崔岩，王兢， |
| 45 | 一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声 | 期刊论文 | 乔东海*，徐联，田静，汪承灏 |
| 46 | 改进的溶胶凝胶法制备不同厚度的 | 期刊论文 | 刘梦伟*，佟建华，王兢，董维杰 |
| 47 | 基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结 | 期刊论文 | 刘梦伟*，佟建华，崔天宏，董维 |
| 48 | 硅微压电超声换能器的设计与制作 | 期刊论文 | 郝震宏*，汤亮，乔东海，汪承灏 |
| 49 | In-Plane P-SV Waves from a Pie | 期刊论文 | Bixing Zhang* et al |
| 50 | 微桥量热计测量铝薄膜热容 | 期刊论文 | 余隽*，唐祯安，张凤田，魏广芬 |
| 51 | 热线式横风传感器的研究 | 期刊论文 | 沈玉秀*，唐祯安，张洪泉 |
| 52 | ZnO:Li压电薄膜制备及性能研究 | 期刊论文 | 陈文*，王兢，王敏锐 |
| 53 | Fabrication and characterizati | 期刊论文 | 董维杰*，卢晓光，刘梦伟，王兢 |
| 54 | 基于聚酰亚胺振动膜的硅微电容式 | 期刊论文 | 郝震宏*，李剑成，乔东海 |
| 55 | 基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线 | 期刊论文 | 张小军*，董维杰，刘梦伟，张鹏 |
| 56 | 基于SOC的微气压传感器研究 | 期刊论文 | 高仁憬*，唐祯安， 张凤田等 |
| 57 | 微加热板式半导体微气压传感器的 | 期刊论文 | 郭文泰*，金仁成，王海霞等 |
| 58 | 硅微传声器的电声测试与灵敏度分 | 期刊论文 | 马军*，汪承灏，李伯权，李晓东 |
| 59 | 基于圆形振动膜的硅微压电超声换 | 期刊论文 | 郝震宏*，汤亮，李俊红，乔东海 |
| 60 | Study on Contact Microforce Me | 会议论文 | 卢晓光*，董维杰，刘梦伟，崔岩 |
| 61 | Influence of doping concentrat | 期刊论文 | 陈文*，王兢，王敏锐 |
| 62 | 硅微电容传声器的防粘连结构 | 期刊论文 | 潘昕*，汪承灏，徐联，魏建辉 |
| 63 | Effect of thickness on microst | 期刊论文 | 刘梦伟*，佟建华，王兢，董维杰 |
| 64 | Measurement of longitudinal pi | 会议论文 | |
| 65 | 硅基PZT薄膜型悬臂的特性及其在 | 期刊论文 | 佟建华*，刘梦伟，崔岩，董维杰 |
| 66 | 不同组分PZT压电薄膜的性能研究 | 期刊论文 | 邵春玉*，王兢，刘梦伟，董维杰 |
| 67 | 电容压力微传感器数值分析 | 期刊论文 | 王小民*，李明轩，汪承灏 |
| 68 | Study on piezoelectric self-se | 会议论文 | 董维杰*，李涵 |
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