宽带高效高分辨X射线自支撑闪耀透射光栅的新型制备技术研究

11705001
2017
A2903.等离子体诊断技术
郑衍畅
青年科学基金项目
副教授
安徽工程大学
24万元
硅刻蚀;闪耀透射光栅;X射线光谱
2018-01-01到2020-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Thermal effect on wave propagation behavior of viscoelastic carbon nanotubes conveying fluid with the spinning and longitudinal motions 期刊论文 Ye Tang;Tao Wang;Yanchang Zheng
2 全息光刻-反应离子束刻蚀制作硅光栅 期刊论文 郑衍畅;王铭;胡华奎;王雅楠;杨春来;王海
3 X射线金透射光栅的制备方法 专利 胡华奎;郑衍畅;唐冶;王铭;邱克强;刘正坤;付绍军;杨春来;王海
4 Stitching error compensation for large-area microstructures based on digital oblique scanning exposure mode 期刊论文 Shengzhou Huang;Lei Wang;Yanchang Zheng;Fengtao Wang;Yongsheng Su
5 热压增大光刻胶光栅占宽比的方法及其应用 期刊论文 郑衍畅;胡华奎;邱克强;王海;徐向东;付绍军
6 〈111〉晶向标定方法及其在湿法刻蚀硅光栅中的应用 期刊论文 梁榉曦;郑衍畅;邱克强;刘正坤;徐向东;洪义麟
7 一种增大光刻胶光栅掩模占宽比的加工方法 专利 郑衍畅;胡华奎;王海;杨春来
8 A simple process optimization route to fabricate curved bionic compound eye array 会议论文 Shengzhou Huang;Lei Wang;Yanchang Zheng;Yongsheng Su;Fengtao Wang
9 X射线自支撑闪耀透射光栅的制备方法 专利 郑衍畅;胡华奎;王海;邱克强;徐向东;杨春来;唐冶;裴九芳
10 工作波长为1050nm高透亚波长光栅的设计 期刊论文 胡华奎;郑衍畅;王铭;王海
11 Metal-assisted chemical etching of high throughput, high aspect ratio critical-angle transmission gratings with vertical and smooth sidewalls 期刊论文 Yanchang Zheng;Cheng Li;Huakui Hu;Shengzhou Huang;Zhengkun Liu;Hai Wang
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