基于三维开阖式壳型电极结构的硅探测器及其抗辐射性能研究
12005089
2020
A2804.粒子探测技术
刘曼文
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院微电子研究所
24万元
硅探测器；深反应离子刻蚀；高能量分辨率；电荷收集效率；探测器抗辐射性能
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
未查询到项目成果
查看更多信息请先登录或注册
