MEMS电容式加速度计的敏感结构的电离辐照退化机理及其加固技术研究
61904165
2019
F0407.微纳机电器件与控制系统
许蔚
青年科学基金项目
副研究员
中国工程物理研究院电子工程研究所
24万元
MEMS失效模式与机制; MEMS电容式加速度计;抗辐加固;辐照效应
2020-01-01到2022-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | A micro electromagnetic actuator with high force density | 期刊论文 | Yue Wang;Chao Zhi;Bin Tang;Kai Yang;Jin Xie;Wei Xu;He Li;Xi Wang |
| 2 | Effect of ionizing radiation on MEMS capacitive accelerometers | 会议论文 | Wei Xu;Xianshan Dong;Jie Yang;Bin Tang |
| 3 | 一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置及方法 | 专利 | 刘珉强;杜川华;肖龙远;李晨;朱小锋;乔伟;许蔚;熊涔;陈泉佑;段丙皇;许献国;赵洪超 |
| 4 | MEMS加速度计微敏感结构的伽马辐照退化效应 | 期刊论文 | 许蔚;杨杰;刘珉强 |
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