体声波微加速度计的力敏机理与集成方法

61574131
2015
F0407.微纳机电器件与控制系统
高杨
面上项目
研究员
中国工程物理研究院电子工程研究所
58万元
RF;薄膜体声波谐振器;微加速度计;单片集成系统;频率检测器;MEMS
2016-01-01到2019-12-31
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重置
序号 标题 类型 作者
1 单片集成的体声波双工器及其制造方法 专利 高杨;蔡洵;赵坤丽;黄振华;尹汐漾;赵俊武;韩宾
2 膜片上FBAR结构的的微压力传感器 专利 高杨;尹汐漾;何婉婧;韩宾;李君儒;蔡洵;赵俊武;赵坤丽
3 新型掺碳二氧化硅-薄膜体声波谐振器结构及其仿真验证 期刊论文 赵俊武;高杨;雷强
4 BAW sensor readout circuit based on Pierce oscillator architecture 会议论文 Yang Gao;Xi-Yang Yin;Bin Han;Yu-Hang Wang
5 300 MHz氮化铝轮廓模式谐振器的设计 期刊论文 袁靖;高杨;许夏茜
6 体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法 期刊论文 高杨;赵坤丽;赵俊武
7 Thermal behavior simulation of bulk acoustic wave resonator 会议论文 HAN Chao;GAO Yang;ZHANG Da-peng;WEN Shu-wen
8 具有温度补偿和谐振频率修调功能的FBAR及滤波器 专利 高杨;周斌;何移;李君儒;何婉婧;黄振华;蔡洵
9 膜片上FBAR结构的阵列式伽马辐照剂量计 专利 高杨;蔡洵;何婉婧;李君儒;黄振华;尹汐漾;赵俊武;赵坤丽
10 新型体声波传感器读出电路的实验验证 期刊论文 高杨;黄振华;尹汐漾
11 薄膜体声波谐振器性能模型参数的提取方法 期刊论文 蔡洵;高杨;黄振华
12 Modified design of microstrip interdigital filter with tapped-line 会议论文 WEN Shu-wen;GAO Yang;ZHANG Da-peng;HAN Chao
13 体声波传感器的系统级行为仿真 期刊论文 黄振华;高杨;蔡洵
14 一种通带展宽的BAW梯型滤波器及其制造方法 专利 高杨;赵坤丽;蔡洵;雷强;贾乐;王宇航;韩宾;刘婷婷
15 偏场下薄膜体声波谐振器频率偏移的摄动分析 期刊论文 张大鹏;高杨;许夏茜
16 Design considerations of the FBAR on-board test 会议论文 Xu Xia xi;Gao Yang;Liu Ting ting
17 膜片上FBAR结构的微加速度计 专利 高杨;何婉婧;李君儒;贺学峰;蔡洵;赵俊武;尹汐漾;黄振华
18 一种镂空空腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法 专利 高杨;何移;周斌;何婉婧;李君儒;蔡洵;黄振华
19 FBAR-on-diaphragm type electro-acoustic resonant micro-accelerometer: a theoretical study 期刊论文 Gao Yang;He Wan-jing;Li Jun-ru;Huang Zhen-hua
20 FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路 期刊论文 高杨;黄振华;蔡洵
21 FBAR有效机电耦合系数的影响因素分析 期刊论文 赵坤丽;高杨;韩超
22 体声波谐振器MASON模型改进的方法 期刊论文 贾乐;高杨;韩超
23 FBAR板上测试技术综述 期刊论文 许夏茜;高杨;刘婷婷
24 体声波谐振器质量负载等效电感的量化方法 期刊论文 尹汐漾;高杨;韩宾;黄振华
25 基于Pierce振荡器架构的BAW传感器读出电路 期刊论文 高杨;尹汐漾;韩宾;吕军光
26 Improved sensitivity prediction method for FBAR transducer 会议论文 Y Gao;D P Zhang;C Han;S W Wen
27 高性能氮化铝差分谐振式加速度计的结构设计 期刊论文 高杨;韩超;雷强
28 一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器 专利 高杨;赵坤丽;尹汐漾;赵俊武;韩宾;杨涛;皮明
29 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 期刊论文 高杨;雷强;赵俊武;吕军光
30 氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计 期刊论文 雷强;高杨;赵俊武;吕军光
31 薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析 期刊论文 王宇航;高杨;韩宾;吕军光
32 MEMS壁面剪切应力传感器研究进展 期刊论文 雷强;高杨;王雄
33 体声波谐振器热行为仿真 期刊论文 韩超;高杨;张大鹏
34 BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应 期刊论文 高杨;贾乐;张大鹏
35 薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析 期刊论文 高杨;张大鹏;刘婷婷
36 Optimization of a VOC Sensor with a Bilayered Diaphragm Using FBAR as Strain Sensing Elements 期刊论文 Guo Huihui;Guo Aohui;Gao Yang;Liu Tingting
37 First-principle studies on the influence of anisotropic pressure on the physical properties of aluminum nitride 期刊论文 Wang Zhifan;Zhao Junwu;Gao Yang;Zhang Yanning
38 膜片上FBAR结构的阵列式伽马辐照剂量计 期刊论文 尹汐漾;高杨;韩宾;刘婷婷
39 高功率体声波谐振器的自热效应及其修正 期刊论文 韩超;高杨;张大鹏
40 电极化对FBAR应力负载效应影响的分析 期刊论文 张大鹏;高杨;王宇航;文数文
41 微带六端口网络的工艺健壮性分析 期刊论文 黄振华;高杨;蔡洵
42 体声波壁面剪切应力传感器 专利 高杨;赵俊武;雷强;王雄;邱华诚;刘婷婷;袁明权;张茜梅
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