微等离子体-催化剂协同作用下InAs半导体纳米线阵列的低温可控制备与机理研究

22078125
2020
B0805.过程强化与化工装备
林良良
面上项目
副教授
江南大学
63万元
催化;等离子体催化;微等离子体;等离子体强化;半导体纳米线
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