多元复合阵列真空微电子压力传感器研究
69674030
1996
F0306.自动化检测技术与装置
夏善红
面上项目
研究员
中国科学院空天信息创新研究院
10万元
真空微电子;多元复合阵列;压力传感器
1997-01-01到1999-12-31
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