面向三维IC堆栈集成高温单相互连点的快速成形原理研究

U1504507
2015
E0512.微纳机械系统
田野
联合基金项目
教授
河南工业大学
27万元
可靠性;纳米化;金属间化合物;三维IC集成;互连点
2016-01-01到2018-12-31
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