大规模复杂晶圆制造自动化物料运输系统的建模与性能分析

71201048
2012
G0108.工业工程与质量管理
吴立辉
青年科学基金项目
教授
河南工业大学
19万元
自动化物料运输系统;建模;性能分析;晶圆制造
2013-01-01到2015-12-31
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