表面润湿性可逆调控的软刻蚀微纳成形与缺陷控制

51675515
2016
E0505.机械摩擦学与表面技术
孟军虎
面上项目
研究员
中国科学院兰州化学物理研究所
62万元
缺陷控制;软刻蚀;润湿性可逆转化;微纳成形;陶瓷
2017-01-01到2020-12-31
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