基于电极质量负载的超灵敏超高频AlScErN声表面波传感器研究
52075162
2020
E0512.微纳机械系统
周剑
面上项目
副教授
湖南大学
58万元
电极质量负载效应；超灵敏；超高频；声表面波；传感器
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