超净表面制备中纳米颗粒的行为机制研究
51205006
2012
E0505.机械摩擦学与表面技术
黄雅婷
青年科学基金项目
副教授
北京工商大学
25万元
纳米颗粒;粘附;化学机械抛光后清洗;去除
2013-01-01到2015-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Probing particle removal in brush scrubber cleaning with fluorescence technique | 期刊论文 | Huang, YaTing|Li, Yang|Guo, Dan|Meng, ChunLing| |
| 2 | 粘附性具有可控响应性的智能超疏水表面研究进展 | 期刊论文 | 刘玉德|高东明|黄雅婷|张会臣| |
| 3 | Simulation of acoustic field for megasonic bath cleaning in advanced semiconductor manufacturing | 会议论文 | |
| 4 | Finite element analysis of structure failure in Cu interconnect megasonic cleaning | 期刊论文 | Huang, Ya-Ting|Meng, Chun-Ling|Dong, Xiu-Ping|Lu, Xin-Chun| |
| 5 | 基于微/纳二元结构镁合金超疏水膜层的制备 | 期刊论文 | 黄雅婷|高东明|张会臣|栗苗苗| |
| 6 | 高频超声清洗中声场分布的仿真及实验研究 | 期刊论文 | 谢爱云|黄雅婷|冯涛|董秀萍| |
| 7 | Finite element analysis of failure in Cu interconnect megasonic cleaning | 会议论文 | |
| 8 | 铜互连兆声清洗中结构损伤预测的有限元分析 | 期刊论文 | 黄雅婷|孟春玲|董秀萍|路新春| |
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