晶硅薄膜生长和转移中表面织构的形成与陷光效应研究
序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
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1 | 外延层转移单晶硅用籽晶阵列衬底及其制备方法 | 专利 | 刘东方;张伟;李纪周;鄢靖源;王聪 |
2 | 一种基于硅异质衬底的GaN层转移单晶薄膜制备方法 | 专利 | 刘东方;李纪周;张伟;王聪 |
3 | Fabrication of silicon films from patterned protruded seeds | 期刊论文 | Huang Zeng;Wei Zhang;Jizhou Li;Cong Wang;Hui Yang;Yigang Chen;Xiaoyuan Chen;Dongfang Liu |
4 | 一种双壳层结构籽晶衬底及其制备方法 | 专利 | 刘东方;鄢靖源;张伟;李纪周;王聪 |
5 | 层转移单晶硅薄膜用籽晶衬底的微接触湿法刻蚀制备方法 | 专利 | 刘东方;曾煌;张伟;王聪 |
6 | 半导体同质衬底及其制备方法、同质外延层的制备方法 | 专利 | 刘东方;张伟;曾煌;王聪 |
7 | Fabrication of seeded substrates for layer transferrable silicon films | 期刊论文 | Ji-Zhou Li;Wei Zhang;Jing-Yuan Yan;Cong Wang;Hong-Fei Chen;Xiao-Yuan Chen;Dong-Fang Liu |