无偏压射频等离子体原位清洗第一镜的机理研究
11975269
2019
A2902.等离子体与物质相互作用
鄢容
面上项目
副研究员
中国科学院合肥物质科学研究院
65万元
等离子体与材料表面相互作用；第一镜；使用寿命；无偏压射频等离子体；原位清洗
2020-01至2023-12
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