全耗尽绝缘体上硅(FD-SOI)材料及其制备工艺中的基础问题研究
62074152
2020
F0401.半导体材料
魏星
面上项目
研究员
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
63万元
SOI材料；全耗尽；离子注入；键合；非接触式平坦化
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