基于微压铸和体型微加工的微型螺线管电感的一次成型制造工艺研究
61604162
2016
F0407.微纳机电器件与控制系统
夏晓媛
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
19万元
体型微加工;螺线管电感;微压铸
2017-01-01到2019-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | MEMS FLUXGATE MAGNETOMETER WHOSE SOLENOID COIL ARE WINDED BY A NOVEL WAFER-LEVEL LIQUID ALLOY FILLING METHOD | 会议论文 | Jiebin Gu;Xiaowei Hou;Xiayuan Xia;Weibo Zhang;Xinxin Li |
| 2 | SILICON-CHIP BASED ELECTROMAGNETIC VIBRATION ENERGY HARVESTERS RAPIDLY FABRICATED BY WAFER-LEVEL MOLTEN METAL MICRO-CASTING TECHNIQUE | 会议论文 | Ruofeng han;Nianying Wang;Dacheng Xu;Jiebin Gu;Xinxin Li |
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