高精度全硅基单芯片集成数字式六轴微机械电子罗盘传感器研究

61504159
2015
F0407.微纳机电器件与控制系统
陈方
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
20万元
六轴微机械电子罗盘;单芯片集成;modulator闭环;接口电路;高精度;Sigma-delta
2016-01-01到2018-12-31
  • 中英文摘要
  • 结题摘要
  • 结题报告
  • 项目成果
  • 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
重置
序号 标题 类型 作者
1 Electromechanical Sigma-Delta Modulators (Sigma Delta M) Force Feedback Interfaces for Capacitive MEMS Inertial Sensors: A Review 期刊论文 Chen Fang;Li Xinxin;Kraft Michael
2 Monolithically integrated tri-axis shock accelerometers with MHz-level high resonant-frequency 期刊论文 Zou Hongshuo;Wang Jiachou;Chen Fang;Bao Haifei;Jiao Ding;Zhang Kun;Song Zhaohui;Li Xinxin
3 高精度硅微机械陀螺及其工程化技术 奖励 苑伟政等
4 A dual quantization electromechanical sigma-delta modulator vibratory wheel gyroscope 会议论文 Bin Sheng;Fang Chen;Chao Qian;Dacheng Xu;Shuwen Guo;Xinxin Li
5 MEMS monolithic tri-axis high-shock accelerometers with MHz-level ultra-high resonant frequency 会议论文 Hongshuo Zou;Fang Chen;Jiachou Wang;Haifei Bao;Xinxin Li
6 中国电子信息工程科技发展研究(领域篇)传感器技术 专著 方家熊;王平;王跃林;太惠玲;左小磊;刘昌举;刘俊刚;安达;牟笑静;孙再龙;苏君红;李立;李昕欣;李梦男;李睿深;张小水;陈方;陈滢;邵秀梅;金庆辉;周晓峰;封松林;赵文伯;贺庆国;唐利斌;曹俊诚;蒋亚东;温志渝;蔡毅;蔡新霞;熊平;樊春海
7 级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计 期刊论文 陈方;刘卫平;刘礼;张勇军
8 A Single-Side Fabricated Triaxis (111)-Silicon Microaccelerometer With Electromechanical Sigma-Delta Modulation 期刊论文 Chen Fang;Zhao Yi;Wang Jiachou;Zou Hongshuo;Kraft Michael;Li Xinxin
9 自时钟数字式微机械陀螺SDM闭环检测电路系统 专利 陈方;李昕欣
10 SELF-CLOCKED DUAL-RESONATOR MICROMACHINED LORENTZ FORCE MAGNETOMETER BASED ON ELECTROMECHANICAL SIGMA-DELTA MODULATION 会议论文 Chen Fang;Zhou Wei;Zou Hongshuo;Kraft Michael;Li Xinxin
11 Design of a Dual Quantization Electromechanical Sigma-Delta Modulator MEMS Vibratory Wheel Gyroscope 期刊论文 Sheng Bin;Chen Fang;Qian Chao;Xu Dacheng;Guo Shuwen;Li Xinxin
12 基于FPGA的微机电混合SDM加速度计闭环检测电路系统 专利 陈方;李昕欣
13 A Front-side non-SOI Fabricated Tri-axisCapacitive Accelerometer With Electromechanical Sigma-Delta ModulatorsInterface 会议论文 Fang Chen;Yi Zhao;Hongshuo Zou;Michael Kraft;Xinxin Li
查看更多信息请先登录或注册

相关项目

趋势报告

经验分享