掺杂自诱导增强Si基AlGaN深紫外LED研究

62004196
2020
F0403.半导体光电子器件与集成
蒋科
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
24万元
AlGaN;发光二极管;深紫外;p型掺杂;掺杂自诱导
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