面向三维微纳结构加工的光电化学刻蚀侧壁调控机理与方法研究

51405245
2014
E0512.微纳机械系统
孙广毅
青年科学基金项目
南开大学
25万元
微机电系统;光电化学刻蚀;微流体;微加工技术;超疏水
2015-01-01到2017-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 一种光电化学刻蚀设备 专利 孙广毅;蒋秀芬;赵新
2 一种基于弯月面受限局部电镀的超疏水表面的制备方法 专利 孙广毅;蒋秀芬;张春来;赵新
3 Development of a miniature shear sensor for direct comparison of skin-friction drags 期刊论文 Guangyi Sun;Hyungmin Park;Chang-Jin CJ Kim
4 一种面向生物单细胞检测应用的两步压印方法 专利 孙广毅;张春来;蒋秀芬;赵新
5 Large Area Fabrication of Very-High-Aspect-Ratio Whole Teflon Nanostructures by Hot Embossing 会议论文 Chunlai Zhang;Xiufen Jiang;Xin Zhao;Guangyi Sun
6 一种基于热压印的超疏水材料的制备方法 专利 孙广毅;张春来;蒋秀芬;赵新
7 Salvinia-Effect-Inspired “Sticky” Superhydrophobic Surfaces by Meniscus-Confined Electrodeposition 期刊论文 Deyin Zheng;Youhua Jiang;Wentao Yu;Xiufen Jiang;Xin Zhao;Chang-Hwan Choi;Guangyi Sun
8 一种复合结构热沉制备方法 专利 孙广毅;郑德印;赵新
9 ENHANCED PHOTOCATALYTIC DEGRADATION OF ORGANIC POLLUTANTS USING HIGH-ASPECT-RATIO SI/ITO/WO3 MICROPOST PHOTOELECTRODES 会议论文 X. Jiang;M. Liu;D. Zheng;X. Zhao;W. Wang;G. Sun
10 3D Si/ITO/WO3 photoelectrode with a micropost array structure for photocatalysis enhancement 期刊论文 Deyin Zheng;Xiufen Jiang;Mengyin Liu;Xin Zhao;Weichao Wang;Guangyi Sun
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