硅MEMS陀螺驱动/检测模态频率调谐自适应控制方法和实验研究

61274117
2012
F0407.微纳机电器件与控制系统
盛蔚
面上项目
教授
北京航空航天大学
78万元
陀螺;检测;频率;调谐控制;驱动
2013-01-01到2016-12-31
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