纳米尺度长度标准样品的的高精度批量制造
91023012
2010
E0210.无机非金属类生物材料
杨海方
重大研究计划
研究员
中国科学院物理研究所
50万元
电子束曝光;刻蚀;扫描电子显微镜;金属镀膜;长度标准样品
2011-01-01到2013-12-31
- 中英文摘要
- 结题摘要
- 结题报告
- 项目成果
- 项目参与人
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
查看更多信息请先登录或注册
未查询到项目成果
查看更多信息请先登录或注册
