【60501014】红外波段左手材料的加工及性质研究国家自然基金项目 - 国家自然科学基金查询网

红外波段左手材料的加工及性质研究

项目批准号： 60501014

批准年份： 2005

学科分类： F0122.物理电子学

项目负责人：杨海方

资助类别：青年科学基金项目

负责人职称：研究员

依托单位：中国科学院物理研究所

资助金额： 25万元

关键词：电子束曝光;红外电磁波;左手材料

起止时间： 2006-01-01到2008-12-31

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结题摘要
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项目成果
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序号	标题	类型	作者
1	Electron beam lithography of HSQ/PMMA bilayer resists for negative tone lift-off process	期刊论文
2	Fabrication of nanostructure metamaterials at near-infrared on insulatedsubstrate	会议论文
3	Modulated terahertz responses of split ring resonators by nanometer thick liquid layers	期刊论文
4	Low-energy electron-beam lithography of hydrogen silsesquioxane	期刊论文
5	Fabrication of Terahertz Metamaterials Using S1813/LOR Stack by Lift-off	期刊论文
6	Comparative study of e-beam resist processes at different development temperature	期刊论文
7	Fabrication of Terahertz Metamaterials Using S1813/LOR Stack by Lift-off	会议论文
8	Fabrication of Near-infrared and Optical Meta-materials on insulating substrates by Lift-off Using PMMA/Al Stack	期刊论文
9	Time-resolved broadband analysis of split ring resonators in terahertz region	期刊论文
10	The influences of substrate and metal properties on the magnetic responseof metamaterials at terahertz region	期刊论文
11	Microfabrication and properties of the meta-materials	期刊论文
12	红外波段人工超材料的制备与特性研究	会议论文

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