晶圆级单晶金刚石衬底的活性/硬质磨粒协同加工原理与关键技术研究

51835004
2018
E0509.加工制造
徐西鹏
重点项目
教授
华侨大学
300万元
硬质磨粒;磨削;单晶金刚石晶圆;活性磨粒;抛光
2019-01-01到2023-12-31
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重置
序号 标题 类型 作者
1 磨粒切厚分布特征约束的单层金刚石工具设计制备与应用 奖励 徐西鹏;黄国钦;崔长彩;穆德魁;黄辉
2 Influences of early-stage C diffusion on growth microstructures in solid-state interface reaction between CVD diamond and sputtered Cr 期刊论文 Zhuo Liu;Wei Cheng;Dekui Mu;Yueqin Wu;Qiaoli Lin;Xipeng Xu;Han Huang
3 Ultrathin diamond blades for dicing single crystal SiC developed using a novel bonding method 期刊论文 Mian Li;Dekui Mu;Shuiquan Huang;Yueqin Wu;Hui Meng;Xipeng Xu;Han Huang
4 一种大尺寸单晶金刚石的抛光方法(日本PCT) 专利 陆静;徐西鹏;王艳辉;罗求发;肖平
5 一种扭转超声振动辅助晶锭剥片装置及其使用方法 专利 温秋玲;凤元雨;胡中伟;黄辉;杨野
6 一种大尺寸单晶金刚石的抛光方法 专利 陆静;肖平;徐西鹏;王艳辉;罗求发
7 一种芯片划切用多孔质Cu-Sn基超薄砂轮及其制备方法 专利 李勉;穆德魁;徐西鹏
8 基于晶格常数的单晶材料势函数修正方法 专利 徐西鹏;林佳明;姜峰;田子歌;吴跃勤
9 一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置及方法 专利 温秋玲;王华禄;张鹏程;徐西鹏;陆静;姜峰;黄辉
10 磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法 专利 罗求发;陆静;徐西鹏;薛志萍;姜峰;温海浪
11 紫外纳秒激光加工金刚石微槽工艺参数优化研究 期刊论文 韦新宇;温秋玲;陆静;黄国钦;崔长彩;姜峰
12 高效精密低损伤复合结合剂金刚石砂轮及其磨削技术与应用 奖励 赵延军;徐西鹏;张高亮;唐地源;刘乾坤;冯跃战;钱灌文;王礼华;左冬华;朱建辉;包华;惠珍;张凤岭;叶腾飞;李少杰
13 Research on gold film-assisted ultraviolet nanosecond laser machining of diamond microgrooves 期刊论文 Xinyu Wei;Qiuling Wen;Jinhong Chen;Jing Lu;Changcai Cui;Guoqin Huang;Feng Jiang
14 Microstructures and bonding strength of synthetic diamond brazed by near-eutectic Ag–Cu–in–Ti filler alloy 期刊论文 Zhuo Liu;Xinjiang Liao;Wei Fu;Dekui Mu;Xipeng Xu;Han Huang
15 In-situ assembly from graphene encapsulated CoCrFeMnNi high-entropy alloy nanoparticles for improvement corrosion resistance and mechanical properties in metal matrix composites 期刊论文 Hanqing Xu;Jianbing Zang;Yungang Yuan;Y.K. Zhou;Pengfei Tian;Yanhui Wang
16 单层磨料凝胶抛光垫的加工性能研究 期刊论文 罗求发;陆静;林莹超;俞能跃
17 金刚石磨抛一体化的加工设备及其加工方法 专利 陆静;温海浪;罗求发;李晨;艾腾峰
18 金属膜辅助脆性材料的激光打孔装置及方法 专利 温秋玲;王华禄;陆静;胡中伟;姜峰;黄辉;崔长彩;徐西鹏
19 用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘 专利 胡中伟;章玉强;李涛;王丽娟;方从富;于怡青;徐西鹏
20 一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法 专利 黄辉;崔长彩;廖信江;李慧慧
21 金刚石衬底随温度变化的测量方法 专利 崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦
22 一种大尺寸单晶金刚石的磨削方法(日本PCT) 专利 陆静;徐西鹏;王艳辉;罗求发
23 硬脆材料高性能加工用复合结合剂砂轮研制及应用 奖励 赵延军;徐西鹏;张高亮;刘乾坤;杨建良;黄润华;钱灌文;朱建辉;邵俊永;包华
24 Exploring the activation energy of diamond reacting with metals and metal oxides by first-principle calculation 期刊论文 Ao Deng;Jing Lu;Dongxu Li;Yanhui Wang
25 Study on nanomechanical properties of 4H-SiC and 6H-SiC by molecular dynamics simulations 期刊论文 Zige Tian;Xipeng Xu;Feng Jiang;Jing Lu;Luo Qiufa;Jiaming Lin
26 Preparation and Application of Sol-Gel Polishing Pad for Polishing CVD Single Crystal Diamond at High Speed 期刊论文 Jing Lu;Ao Deng;Ping Xiao
27 Growth mechanisms of interfacial carbides in solid-state reaction between single-crystal diamond and chromium 期刊论文 Zhuo Liu;Wei Cheng;Dekui Mu;Qiaoli Lin;Xipeng Xu;Han Huang
28 Low-Destructive Processing of Single Crystal Aluminum Nitride Based on Sol-Gel Polishing Tool 期刊论文 Zhongqiang Ma;Xiaobin Lv;Jing Lu
29 Fabrication and Application of Fe2o3-Decorated Carbon Nanotube Fibers Via Instantaneous Joule-Heating Method 期刊论文 Zhiping Xue;Jing Lu;Jiangtao Di
30 各向异性单晶材料分子动力学模型建立方法 专利 姜峰;林佳明;徐西鹏;吴跃勤;田子歌;胡中伟
31 横向超声振动辅助超快激光对晶体改质的装置及使用方法 专利 温秋玲;凤元雨;胡中伟;黄辉;杨野
32 一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法 专利 薛志萍;陆静;徐西鹏;谭援强;罗求发
33 Fabrication and microstructural characterization of the diamond@amorphous carbon nanocomposite core/shell structure via in-situ polymerization 期刊论文 Hanqing Xu;Jianbing Zang;Yungang Yuan;Shuang Yan;Pengfei Tian;Yanhui Wang;Jing Lu;Xipeng Xu
34 一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法 专利 崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦
35 Study on ultraviolet laser processing of a single-crystal diamond along〈1 0 0〉and〈1 1 0〉crystal orientations 期刊论文 Qiuling Wen;Xinyu Wei;Xipeng Xu;Jing Lu;Changcai Cui
36 一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法 专利 陆静;刘首麟;徐胜通;王嘉炜;柯聪明;罗求发
37 一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法 专利 陆静;李晨;辛永康;王嘉炜;罗求发;柯聪明;温秋玲
38 激光诱导等离子体进行仿形加工装置及方法 专利 姜峰;江安娜;卢希钊;温秋玲;陆静;陈嘉林
39 一种透明硬脆材料表面加工亲水结构的装置及加工方法 专利 温秋玲;王晓光;陈金鸿
40 Towards understanding the brittle–ductile transition in the extreme manufacturing 期刊论文 Tao Zhang;Feng Jiang;Hui Huang;Jing Lu;Yueqin Wu;Zhengyi Jiang;Xipeng Xu
41 Preparation of multilayer graphene coatings with interfacial bond to mild steel via covalent bonding for high performance anticorrosion and wear resistance 期刊论文 Hanqing Xu;Jianbing Zang;Yungang Yuan;Pengfei Tian;Yanhui Wang
42 Fabrication and application of CNT fiber-ultra-fine diamond composites via electrophoretic deposition and instantaneous Joule-heating method 期刊论文 Zhiping Xue;Jing Lu;Hui Huang
43 A novel ultrahigh-speed ball-on-disc tribometer 期刊论文 Tao Zhang;Feng Jiang;Lan Yan;Zhengyi Jiang;Xipeng Xu
44 Rapid grinding diamond film using a grinding wheel containing nickel-plated diamond abrasives based on mechanochemical effect 期刊论文 Yingke Zhou;Yanhui Wang;Shengyao Su;Lixiang Zhao;Menghui Zhao;Yungang Yuan;Jianbing Zang;Jing Lu;Xipeng Xu;Pingwei Zhang
45 Fabrication of porous structure vitrified bond diamond grinding wheel via direct ink writing 期刊论文 Jingluan Huang;Jing Lu;Yanhui Wang;Zhongqiang Ma
46 Review on laser-induced etching processing technology for transparent hard and brittle materials 期刊论文 Jialin Chen;Xizhao Lu;Qiuling Wen;Feng Jiang;Jing Lu;Dajiang Lei;Yongcheng Pan
47 一种金刚石衬底的研磨方法 专利 胡中伟;章玉强;王丽娟;于怡青;徐西鹏
48 大尺寸单晶金刚石磨抛一体化加工研究 期刊论文 温海浪;陆静;李晨;胡光球
49 一种自动化衬底晶片缺陷及厚度检测系统 专利 崔长彩;李子清;胡中伟;陆静
50 一种天然生漆陶瓷复合金刚石工具及其制备方法 专利 陆静;黄景銮
51 一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质 专利 胡中伟;陆涵钧;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏
52 大粒径金刚石磨具的磨粒表面微去除方法及其制造方法 专利 穆德魁;刘卓;何启文;廖信江
53 一种抛光金刚石的夹紧夹具及金刚石抛光机 专利 陆静;徐西鹏;温海浪;李晨
54 Chemical reaction on silicon carbide wafer (0 0 0 1 and 0 0 0 −1) with water molecules in nanoscale polishing 期刊论文 Zige Tian;Jing Lu;Qiufa Luo;Xipeng Xu
55 大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术研究现状与展望 期刊论文 温海浪;肖平;陆静
56 Reactive wetting of binary Sn Cr alloy on polycrystalline chemical vapour deposited diamond at relatively low temperatures 期刊论文 Chen Jinchang;Liao Xinjiang;Qiaoli Lin;Mu Dekui;Hui Huang;Xipeng Xu;Han Huang
57 Characterisation of diamond abrasive grains of grinding tools using industrial X-ray computed tomography 期刊论文 Luca Pagani;Qunfen Qi;Jing Lu;Hui Huang;Guoqin Huang;Changcai Cui;Xipeng Xu;Xiangqian Jiang
58 基于力学试验结果的分子动力学模型验证方法 专利 徐西鹏;林佳明;姜峰;田子歌;吴跃勤
59 基于纳米压痕技术的材料本构预模型建立方法 专利 徐西鹏;林佳明;姜峰;吴跃勤;蔡永德;田子歌
60 利用双金属合金靶材激光诱导等离子体加工装置及方法 专利 徐西鹏;陈嘉林;姜峰;卢希钊;温秋玲;江安娜
61 一种蜂窝状金刚石工具的浆料直写成型方法 专利 陆静;王艳辉;黄景銮
62 一种活性金属磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法 专利 徐西鹏;陆静;罗求发;吴跃勤;穆德魁;薛志萍
63 Influence of sintering temperature on dicing performances of metal-bonded diamond blades on sapphire 期刊论文 Mian Li;Jiawei Liu;Xipeng Xu;Dekui Mu
64 Molecular dynamics simulations of scratching characteristics in vibration-assisted nano-scratch of single-crystal silicon 期刊论文 Yue Chen;Zhongwei Hu;Jianfeng Jin;Lun Li;Yiqing Yu;Qing Peng;Xipeng Xu
65 短脉冲红外激光诱导等离子体微刻蚀单晶高温高压金刚石 期刊论文 卢希钊;陈嘉林;温秋玲;陆静;姜峰
66 Microstructure evolution and joining strength of diamond brazed on Ti-6Al-4V substrates using Ti-free eutectic Ag-Cu filler alloy 期刊论文 Xinjiang Liao;Zhuo Liu;Ruixiang Liu;Dekui Mu
67 Ablation characteristics and material removal mechanisms of a single-crystal diamond processed by nanosecond or picosecond lasers 期刊论文 Hualu Wang;Qiuling Wen;Xipeng Xu;Jing Lu;Feng Jiang;Changcai Cui
68 一种活性金属氧化物磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法 专利 陆静;徐西鹏;罗求发;吴跃勤;穆德魁;薛志萍
69 一种大尺寸单晶金刚石的磨削方法 专利 陆静;马忠强;徐西鹏;王艳辉;罗求发
70 磨粒工具的研究现状及发展趋势 期刊论文 徐西鹏;黄辉;胡中伟;崔长彩;罗求发;廖信江
71 一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法 专利 崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦
72 激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法 专利 温秋玲;陈金鸿;徐西鹏;姜峰;陆静;崔长彩;黄国钦;黄辉;汪晖
73 一种金刚石晶片的贴片装置 专利 陆静;辛永康;李晨;马忠强;温海浪;罗求发;柯聪明
74 Energy beam-based direct and assisted polishing techniques for diamond: A review 期刊论文 Zhuo Li;Feng Jiang;Zhengyi Jiang;Zige Tian;Tian Qiu;Tao Zhang;Qiuling Wen;Xizhao Lu;Jing Lu;Hui Huang
75 皮秒激光加工CVD单晶金刚石的特征和机理研究 期刊论文 温秋玲;韦新宇;王华禄;崔长彩;陆静;胡中伟;姜峰
76 Precision Polishing of Single Crystal Diamond (111) Substrates Using a Sol-Gel (SG) Polishing Pad 期刊论文 Jing Lu;Ping Xiao;Ruilong Tong;Qiufa Luo;Xipeng Xu
77 Controllable material removal behavior of 6H-SiC wafer in nanoscale polishing 期刊论文 Qiufa Luo;Jing Lu;Zige Tian;Feng Jiang
78 一种柔性抛光粒子磁性排布抛光盘的制作方法 专利 陆静;肖平;徐西鹏
79 一种半导体衬底片连续径向加压装置 专利 崔长彩;余家华;薛步刚
80 一种多层膜厚度及光学特性检测方法 专利 崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦
81 Coupling of double grains enforces the grinding process in vibration-assisted scratch: Insights from molecular dynamics 期刊论文 Zhongwei Hu;Yue Chen;Zhiyuan Lai;Yiqing Yu;Xipeng Xu;Qing Peng;Long Zhang
82 Study on Polishing of Polycrystalline AlN Using Sol–Gel Polishing Tool 期刊论文 Jing Lu;Zhongqiang Ma;Xiaobin Lv
83 Sol–gel polishing technology for extremely hard semiconductor substrates 期刊论文 Qiufa Luo;Hailang Wen;Jing Lu
84 激光诱导等离子体辅助双面研磨透明材料的装置及方法 专利 姜峰;江安娜;卢希钊;温秋玲;陆静;胡中伟;陈嘉林
85 一种柔性溶胶凝胶抛光块体的制备方法 专利 陆静;徐西鹏;杨磊;申云
86 一种金刚石工具的浆料直写成型方法 专利 陆静;王艳辉;黄景銮
87 基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法 专利 陆静;辛永康;李晨;王嘉炜;罗求发;柯聪明
88 一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法 专利 陆静;辛永康;王嘉炜;陈凯;柯聪明
89 Mechanical chemical polishing of large-size single-crystal diamond substrates with a sol-gel polishing tool 期刊论文 Hailang Wen;Jing Lu;Shuai Xu;Ning Yan
90 3D打印金刚石工具的研究进展 期刊论文 张云鹤;黄景銮;宋运运;陆静;李彩虹
91 Molecular dynamics simulation of the material removal in the scratching of 4H-SiC and 6H-SiC substrates 期刊论文 Zige Tian;Xun Chen;Xipeng Xu
92 Effect of temperature on the material removal mechanism of LIPAA process 期刊论文 Anna Jiang;Jialin Chen;Lan Yan;Xizhao Lu;Feng Jiang;Qiuling Wen
93 In situ preparation of graphene coating bonded to stainless steel substrate via Cr C bonding for excellent anticorrosion and wear resistant 期刊论文 Hanqing Xu;Jianbing Zang;Yungang Yuan;Pengfei Tian;Yanhui Wang
94 Fabrication of graphene coating bonded to mild steel via covalent bonding for high anticorrosion performance 期刊论文 Hanqing Xu;Jianbing Zang;Yungang Yuan;Pengfei Tian;Yanhui Wang
95 Towards Tailorable Interface Microstructure through Solid-state Interface Reaction between Synthetic Diamond Grits and Sputtered Ni-Cr Binary Alloy 期刊论文 Wei Cheng;Zhuo Liu;Qiaoli Lin;Guoqin Huang;Xipeng Xu;Han Huang;Dekui Mu
96 Characterization of amorphous carbon films from 5 nm to 200nm on single-side polished a-plane sapphire substrates by spectroscopic ellipsometry 期刊论文 Ziqing Li;Changcai Cui;Xiaolong Zhou;Subiao Bian;Oriol Arteaga;Xipeng Xu
97 硬质磨料与衬底在纳米尺度下的界面化学反应的实现装置及其实现方法 专利 陆静;程志豪;罗求发;陈杰铭
98 一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法 专利 陆静;徐胜通;罗求发;柯聪明;刘首麟
99 一种超声振动辅助超快激光隐形切割晶圆装置及方法 专利 温秋玲;胡佳鑫;胡中伟;黄辉;杨野
100 一种芯片划切用多孔质超薄砂轮及其制备方法 专利 李勉;穆德魁;徐西鹏
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