基于亚波长光栅反射镜的红外高光谱MEMS Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究
62004038
2020
F0407.微纳机电器件与控制系统
毛海峰
青年科学基金项目
副研究员
东南大学
24万元
分布式布拉格反射镜;亚波长光栅反射镜;红外高光谱滤波;微纳光机电器件;干涉器件
2021-01-01到2023-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Investigation and process control of the grating fill-factor and sidewall angle impacts on 2-D metamaterial infrared mirrors | 期刊论文 | Haifeng Mao;Xianshan Dong;Yihui Liu;K. K. M. B. Dilusha Silva;Lorenzo Faraone |
| 2 | A suspended metamaterial mirror for hyperspectral shortwave infrared Fabry-Perot filters | 期刊论文 | Haifeng Mao;Xianshan Dong;Yihui Liu;K. K. M. B. Dilusha Silva;Lorenzo Faraone |
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