多物理场耦合作用下极紫外光源驱动激光指向精度动态特性研究
61904178
2019
F0406.集成电路器件、制造与封装
张阔
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
23万元
极紫外光刻;驱动激光;指向精度;极紫外光源;转换效率
2020-01-01到2022-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Three-dimensional echo distribution analysis of multi-band and oblique Gaussian beams propagating through cat-eye optical system | 期刊论文 | Zhe Lv;Xinchen Du;Kuo Zhang;Fei Chen |
| 2 | Theorical and experimental study of nanosecond pulse amplification in a CW CO2 amplifier | 期刊论文 | Ranran Zhang;Qikun Pan;Jin Guo;Fei Chen;Deyang Yu;Junjie Sun;Kuo Zhang;Luwei Zhang |
| 3 | 双波长激光共轴输出系统与方法 | 专利 | 潘其坤;郭劲;陈飞;张冉冉;于德洋;张阔;孙俊杰;何洋 |
| 4 | Damage Characteristics of Aluminum-Coated Grating Irradiated by Nanosecond Pulsed Laser | 期刊论文 | Jiamin Wang;Kuo Zhang;Yanhui Ji;Jinghua Yu;None Jirigalantu;Wei Zhang;Wenhao Li;Changbin Zheng;Fei Chen |
| 5 | Electric Field Enhancement Effect of Aluminum Grating With Nanosecond Pulsed Laser Irradiation | 期刊论文 | Jiamin Wang;Kuo Zhang;Jinghua Yu;Yin Zhang;Yanhui Ji;None Jirigalantu;Wei Zhang;Wenhao Li;Changbin Zheng;Fei Chen |
| 6 | 一种大尺寸激光光斑检测装置及方法 | 专利 | 张阔;陈飞;潘其坤;郭劲 |
| 7 | 10.6 μm saturable absorption and optical isolation of graphene | 期刊论文 | Ranran Zhang;Qikun Pan;Fei Xu;Jin Guo;Fei Chen;Deyang Yu;Junjie Sun;Kuo Zhang;Yang He;Yi Chen |
| 8 | 可调节光学镜架 | 专利 | 张阔;陈飞;何洋;潘其坤 |
| 9 | 一种激光器的温控系统及设计方法 | 专利 | 张阔;陈飞;赵紫云;何洋;潘其坤;于德洋;孙俊杰 |
| 10 | 一种激光功率稳定方法及激光功率放大系统 | 专利 | 潘其坤;郭劲;陈飞;谢冀江;李殿军;于德洋;张阔;孙俊杰;张鲁薇 |
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