水射流激光划片技术的应用基础研究
61366009
2013
F0406.集成电路器件、制造与封装
龙芋宏
地区科学基金项目
教授
桂林电子科技大学
44万元
水射流;激光划片;热效应;数字模拟;裂纹传播
2014-01-01到2017-12-31
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- 项目成果
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | Experiment and simulation study of laser dicing silicon with water-jet | 期刊论文 | Bao Jiading;Long Yuhong;Tong Youqun;Yang Xiaoqing;Zhang Bin;Zhou Zupeng |
| 2 | 溶液辅助激光加工技术研究 | 专著 | 龙芋宏 |
| 3 | 一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置 | 专利 | 龙芋宏;童友群;杨晓清;刘清源;冯唐高;毛建冬 |
| 4 | 一种液膜保护的激光加工系统 | 专利 | 龙芋宏;冯唐高;杨晓清;童友群;刘鑫 |
| 5 | 一种激光刻蚀的上下振动辅助装置 | 专利 | 周嘉;龙芋宏;鲍家定;唐文斌;刘清原;毛建冬;刘鑫 |
| 6 | Structural Design of Nozzle Based on Hybrid Laser/Water-jet Scribing Technology | 会议论文 | Long Yuhong;Feng Tanggao;Bao Jiading;Tong Youqun |
| 7 | A Study of the Mechanical Effects in the Coupling Process of Excimer Laser Electrochemical Etching | 期刊论文 | Long Y-H.;Xie Y-J.;Xiong L-C.;Yang X-Q.;Shi T-L. |
| 8 | 高能量短脉冲激光作用水分子的动力学模拟 | 期刊论文 | 廖志强;龙芋宏;江威;童友群;冯唐高 |
| 9 | 一种水辅助激光加工的装置 | 专利 | 刘鑫;龙芋宏;鲍家定;童友群;冯唐高;毛建冬;刘清原;唐文斌;周嘉 |
| 10 | Experimental study on the processes of laser-enhanced electrochemical micromachining stainless steel | 期刊论文 | Long YuHong;Li QingYuan;Zhong ZhiXian;Xiong LiangCai;Shi TieLin |
| 11 | Research on Femtosecond Laser-induced Forward-transfer Technology | 期刊论文 | Bao Jiading;Zhao Rui;Liu Qingyuan;Zhou Jia;Long Yuhong |
| 12 | Dynamics Research on High-energy and Microsecond-pulse Laser Irradiating Aluminum Target Underwater | 会议论文 | Wei Jiang;Yuhong Long;Zhiqiang Liao;Youqun Tong;Tanggao Feng |
| 13 | 基于水辅助激光加工的水层流动特性的研究 | 期刊论文 | 刘鑫;龙芋宏;鲍家定;刘清原;毛建冬 |
| 14 | 一种液膜保护的激光加工系统及方法 | 专利 | 龙芋宏;冯唐高;杨晓清;童友群;刘鑫 |
| 15 | 一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置及使用方法 | 专利 | 龙芋宏;童友群;杨晓清;刘清原;冯唐高;毛建东 |
| 16 | 一种自聚焦激光加工装置 | 专利 | 龙芋宏;唐文斌;鲍家定;周嘉;刘清原;刘鑫;毛建冬 |
| 17 | Underwater Excimer Laser Micromachining of Silicon and Metals | 期刊论文 | Long Y-H.;Xie Y-J;Xiong L-C.;Shi T-L. |
| 18 | 单晶硅水导/传统激光打孔对比研究 | 期刊论文 | 毛建冬;龙芋宏;周嘉;唐文斌 |
| 19 | Underwater Pulsed Laser Etching of Silicon and an Analysis of the Induced Mechanical Effects | 期刊论文 | Long Y-H.;Zhang B.;Yang X-Q.;Shi T-L.;Xiong L-C. |
| 20 | 一种双激光加工水浸工件的系统 | 专利 | 刘清原;龙芋宏;周嘉;鲍家定;毛建东;刘鑫;唐文斌 |
| 21 | 一种水下激光加工系统的液膜控制装置 | 专利 | 刘清原;龙芋宏;鲍家定;刘鑫;毛建冬;童友群;冯唐高 |
| 22 | 水射流激光刻划脆性材料超薄片的系统 | 专利 | 龙芋宏;廖志强;江威 |
| 23 | 一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置 | 专利 | 刘清原;龙芋宏;唐文斌;鲍家定;刘鑫;毛建冬;周嘉 |
| 24 | 一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置 | 专利 | 刘清原;龙芋宏;唐文斌;鲍家定;刘鑫;毛建东;周嘉 |
| 25 | 一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法 | 专利 | 龙芋宏;周嘉;陈天鸿;鲍家定;唐文斌;刘清原;毛建冬;刘鑫 |
| 26 | Study on Underwater Laser Scribing Technique | 会议论文 | Long Yuhong;Tong Youqun;Bao Jiading;Feng Tanggao |
| 27 | 一种双激光加工水浸工件的方法和系统 | 专利 | 刘清原;龙芋宏;周嘉;鲍家定;毛建冬;刘鑫;唐文斌 |
| 28 | 一种水下激光加工的液层稳定装置 | 专利 | 毛建冬;龙芋宏;鲍家定;童友群;冯唐高;刘鑫;刘清原;唐文斌;周嘉 |
| 29 | 水射流和气流复合辅助激光加工的系统 | 专利 | 龙芋宏;邹登峰;廖志强;江威 |
| 30 | 一种水下激光加工系统的液膜控制装置及使用方法 | 专利 | 刘清原;龙芋宏;鲍家定;刘鑫;毛建冬;童友群;冯唐高 |
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