超薄氮化镓晶体元件低损伤超精密磨削机理及面形控制基础研究
52005134
2020
E0509.加工制造
李琛
青年科学基金项目
副教授
哈尔滨工业大学
24万元
超精密磨削；磨削机理；材料去除机理；亚表面损伤；硬脆材料
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