基于互补孔径整形照明原理的暗场共焦三维显微测量机理研究
51975159
2019
E0511.机械测试理论与技术
刘俭
面上项目
教授
哈尔滨工业大学
60万元
共焦显微；表面测量技术；激光测量；三维测量
2020-01至2023-12
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