磁控溅射NiCrNx薄膜组分性能可控制备及其在Ag膜系中抗腐蚀机理研究
62005290
2020
F0508.应用光学
魏铭
青年科学基金项目
副研究员
中国科学院光电技术研究所
24万元
磁控溅射；银膜层；抗腐蚀性；界面；氮化镍铬
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