容性耦合等离子体光学加工去除函数建模及其调控机制研究
62075220
2020
F0508.应用光学
范斌
面上项目
研究员
中国科学院光电技术研究所
60万元
先进光学制造；容性耦合等离子体；去除函数；多参数建模；调控机制
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