亚波长金属结构中表面等离子体对光刻分辨力的调制特性研究

60906049
2009
F0406.集成电路器件、制造与封装
杨勇
青年科学基金项目
研究员
中国科学院光电技术研究所
24万元
多层复合结构膜;超衍射分辨力;纳米光刻;表面等离子立体;倏逝波
2010-01-01到2012-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Nanolithography in the evanescent near-field by using gain-assisted meta-materials system 会议论文 Yong Yang|Wei Yan|Jian Wang|Yanli Li|Lixin Zhao|Song Hu|Zhan Li|
2 Fabrication of submicron photon sieve using E-beam lithography and X-ray lithography 期刊论文 Wenbo Jiang|Song Hu|Changqing Xie|Xiaoli Zhu|Lixin Zhao|Weicheng Xie|Jun Wang|Xiucheng Dong|
3 Extended dual-grating alignment method for optical projection lithography 期刊论文 Wangfu Chen|Wei Yan|Song Hu|Yong Yang|Shaolin Zhou|
4 准相位型光子筛设计 期刊论文 唐燕|胡松|朱江平|何渝|
5 Tilt-modulated spatial phase imaging method for wafer-mask leveling in proximity lithography 期刊论文 Shaolin Zhou|Yong Yang|Lixin Zhao|Song Hu|
6 Phase demodulation method for fringe pattern in alignment of nano meter lithography 会议论文 Feng Xu|Song Hu|Zhengquan Luo|Shaolin Zhou|
7 一种数字光栅无掩模光刻对准方法 期刊论文 唐路路|胡松|徐峰|唐燕|陈铭勇|朱江平|
8 Fringe pattern analysis for optical alignment in nanolithography using two-dimentional Fourier transform 期刊论文 Feng Xu|Hu Song|Shaolin Zhou|
9 Moiré-based focusing and leveling scheme for optical projection lithography 期刊论文 Wei Yan|Yong Yang|Wangfu Chen|Song Hu|Shaolin Zhou|
10 大数值孔径光子筛偏振特性研究 期刊论文 唐燕|胡松|赵立新|朱江平|何渝|
11 光刻对准中干涉条纹相位解析研究 期刊论文 徐峰|胡松|周绍林|徐文祥|
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