用于超微细图形光刻的偏振光离轴照明研究
60078005
2000
F0508.应用光学
姚汉民
面上项目
研究员
中国科学院光电技术研究所
21万元
超高分辨率;偏振离轴照明.;偏振相移掩模.
2001-01-01到2003-12-31
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