大口径精密非球面光学元件表面微观缺陷定量评价方法研究
62005077
2020
F0508.应用光学
张毅晖
青年科学基金项目
助理研究员
中国科学院西安光学精密机械研究所
24万元
非球面光学元件；表面缺陷检测；定量评价；显微散射暗场成像；光学元件及检测
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