光学柔性气囊抛光的全频段误差控制理论及其工具磨损性能的伴生演化机制

52075462
2020
E0509.加工制造
王振忠
面上项目
副教授
厦门大学
58万元
超精密抛光;抛光机理;空间频域误差;工具磨损;气囊抛光
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