单晶硅微纳结构的空间多频自适应铣削原理及损伤抑制研究
52005110
2020
E0509.加工制造
孙占文
青年科学基金项目
副教授
广东工业大学
24万元
微纳结构表面；微纳切削机理；硬脆材料损伤机理；自适应加工工艺；空间多频运动系统
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