光学薄模的等离子体反应离子镀的研究
69078013
1990
F0508.应用光学
唐晋发
面上项目
教授
浙江大学
7万元
光学薄膜;低压反应离子镀;等离子体离子镀
1991-01-01到1993-12-31
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