射频容性和感性耦合等离子体制备石墨烯的研究
11475126
2014
A2902.等离子体与物质相互作用
葛水兵
面上项目
副教授
苏州大学
80万元
石墨烯;双频等离子体;容性耦合;感性耦合;碳化硅
2015-01-01到2018-12-31
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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 可控高密度等离子体制备装置和石墨烯薄膜的制备方法 | 专利 | 葛水兵;杨勇 |
| 2 | 石墨烯薄膜的制备方法 | 专利 | 葛水兵;杨勇 |
| 3 | Effect of Multiple Frequency H2/Ar Plasma Treatment on the Optical, Electrical, and Structural Properties of AZO Films | 期刊论文 | Mingzhi Wu;Tianyuan Huang;Chenggang Jin;Lanjian Zhuge;Qin Han;Xuemei Wu |
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