氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究

11175127
2011
A2907.低温等离子体
辛煜
面上项目
教授
苏州大学
70万元
卤素基等离子体;反射率;电负性;多晶硅制绒;载流子寿命
2012-01-01到2015-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 悬浮性微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量 期刊论文 唐中华|吉亮亮|苏晓东|辛煜|
2 微波ECR等离子体增强溅射沉积DLC薄膜的等离子体诊断 期刊论文 辛煜|王行行|贺佳|徐军|
3 甚高频激发容性耦合等离子体的电子能量分布函数的演变 期刊论文 王俊|王涛|唐成双|辛煜|
4 射频水下放电及其在刚果红的降解应用 期刊论文 吉亮亮|邹帅|沈明荣|辛煜|
5 Study on characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF6/O2 plasma and plasma texturing of multi-crystalline silicon 期刊论文 邹帅|辛煜|苏晓东|王栩生|
6 N2双频容性耦合等离子体中低频诱导N2+发射的异常增强 期刊论文 虞一青|辛煜|陆文琪|宁兆元|
7 电负性气体的掺入对容性耦合Ar 等离子体的影响 期刊论文 徐东升|虞一青|王栩生|辛煜|
8 plasma etching fabrication and properties of black silicon by using sputtered silver nanoparticles as micromasks 期刊论文 代智华|黄洁|王栩生|张灵军|
9 等离子体织构化n-Si与P3HT组成杂化太阳能电池的性能研究 期刊论文 姜刘洋|王涛|王俊|辛煜|
10 放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响 期刊论文 唐中华|洪步双|徐东升|辛煜|
11 Pb(Zr,Ti)O3衬底上效率超过1%的铁电太阳能电池 期刊论文 辛煜|
12 通过植入窄带纳米颗粒增强铁电薄膜的光电流 期刊论文 张露|华牧川|陈亚杰|V.G. Harris|
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