多频等离子体与硅基软物质的作用研究

10975105
2009
A2902.等离子体与物质相互作用
叶超
面上项目
研究员
苏州大学
40万元
Si基软物质;等离子体与软物质作用;多频双极等离子体;电容耦合放电
2010-01-01到2012-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 CHF3双频电容耦合放电等离子体特性研究 期刊论文 胡佳, 徐轶君, 叶超|
2 C2F6/O2/Ar plasma chemistry of 60MHz/2MHz dual- frequency discharge and its effect on etching of SiCOH low-k films 期刊论文 Ying Yuan, Chao Ye, Tian Chen, Shuibin Ge, Huiming|
3 C2F6、C4F8的双频电容耦合等离子体特性研究 期刊论文 黄宏伟, 钱 侬, 叶 超|
4 O2流量对O2/C4F8等离子体刻蚀SiCOH低k薄膜的影响 期刊论文 刘卉敏，周 峰，崔 进，邓艳红，叶 超|
5 Light emission from a-Si:C:O:H films fabricated by C2F6 and O2/C2F6 plasma treating silicone oil liquid 期刊论文 Tian Chen, Chao Ye, Yanhong Deng, Ying Yuan, Shuib|
6 Effect of Low-frequency Power on F, CF2 Relative Density and F/CF2 Ratio in Fluorocarbon Dual-frequency Plasmas 期刊论文 HUANG Hongwei, YE Chao, XU Yijun, YUAN Yuan, SHI G|
7 Effect of high-frequency on etching of SiCOH films in CHF3 dual-frequency capacitively coupled plasmas 期刊论文 Chao Ye, Yijun Xu, Xiaojiang Huang, Zhaoyuan Ning|
8 Growth of graphene on SiC at low temperature with the fluorocarbon plasma pre-etching 期刊论文 Yijun Xu, Xuemei Wu, Chao Ye, Yanhong Deng，Tian Ch|
9 O2流量对O2/C2F6等离子体处理的硅油光致发光性能影响 期刊论文 陈 天，钱 侬, 袁 颖，叶 超|
10 Effect of Viscosity of Silicone Oil on Aggregation Behavior of C:F Clusters on a Silicone Oil Liquid Substrate 期刊论文 DENG Yan-Hong, YE Chao, YUAN Yuan, LIU Hui-Ming, C|
11 Helicon Plasma Discharge in a Toroidal Magnetic Field of the Tokamak 期刊论文 C. G. Jin, T. Yu, Y. Zhao, Y. Bo, C. Ye, J. S. Hu,|
12 Structural evolution of silicone oil liquid exposed to Ar plasma 期刊论文 Yuan Yuan, Ye Chao, Huang Hong-Wei, Shi Guo-Feng,|
13 CHF3等离子体刻蚀SiCOH低k薄膜的机理分析 期刊论文 崔 进，刘卉敏，邓艳红，叶 超|
14 低频功率对60MHz/20MHz双频C2F6/Ar/O2等离子体化学特性及SiCOH低k薄膜刻蚀的影响 会议论文 袁颖，叶超，陈天，葛水兵，刘卉敏，崔进，徐轶君，邓艳红，宁兆元|
15 Photoluminescence of silicone oil treated by fluorocarbon plasma 期刊论文 Chen Tian, Ye Chao, Yuan Ying, Deng Yan-Hong, Ge S|
16 Growth of graphene-like thin films at low temperature by dual-frequency capacitively coupled plasma 期刊论文 Yijun Xu, Xuemei WU,, Chao Ye|
17 O2流量对O2/C2F6等离子体处理的硅油光致发光性能影响 期刊论文 陈 天，钱 侬, 袁 颖，叶 超|
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