多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究

10305008
2003
A2907.低温等离子体
辛煜
青年科学基金项目
教授
苏州大学
32万元
ICP等离子体源;耦合;等离子体均匀性;刻蚀..
2004-01-01到2006-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Effect of Si-OH group on chara 期刊论文 叶超 宁兆元 王婷婷 俞笑竹 辛煜
2 电容耦合的抑制对感应耦合等离子 期刊论文 辛煜 宁兆元 狄小莲 虞一青
3 HfO2在CHF3/Ar/H2的感应耦合等离 期刊论文 辛煜 宁兆元 叶超 许圣华 甘肇强
4 微波电子回旋共振法沉积的非晶碳 期刊论文 贺洁 辛煜 叶超 宁兆元
5 Optical properties of fluorina 期刊论文 黄松 宁兆元 辛煜
6 平板型感应耦合等离子体源的线圈 期刊论文 狄小莲 辛煜 宁兆元
7 The structural and dielectric 期刊论文 辛煜 宁兆元 叶超 许圣华 陈军
8 C=C双键对氟化非晶碳薄膜I-V特性 期刊论文 叶超 宁兆元 程珊华 辛煜 许圣华
9 ECR-CVD方法生长a-SiNx:H薄膜的 期刊论文 鲁涛 辛煜 吴雪梅
10 Effect of F- and CH-doped on d 期刊论文
11 多源感应耦合等离子体的产生及等 期刊论文 辛煜 狄小莲 虞一青 宁兆元
12 Effect of NH3 flow rate on gro 期刊论文 辛煜 施毅 刘宏 黄状雄 濮林 张
13 Langmuir probe measurements in 期刊论文 黄松 宁兆元 辛煜 宁兆元
14 A study on optical emission of 期刊论文 黄松 辛煜 宁兆元
15 Optical emission spectroscopy 期刊论文 叶超 宁兆元 辛煜 王婷婷 俞笑竹
16 Infrared and optical propertie 期刊论文 辛煜 许圣华 宁兆元
17 碳氟感应耦合等离子体的SiO2介质 期刊论文 虞一青 辛煜 宁兆元
18 Structural evolution of SiNx f 期刊论文 辛煜 黄壮雄 施毅 濮林 张荣 郑
19 CF4/Ar等离子体刻蚀中入射角对Si 期刊论文 孔华 辛煜 黄松 宁兆元
20 使用发射光谱对感应耦合CF4/CH4 期刊论文 黄松 辛煜 宁兆元
21 Study of effect of H2 addition 期刊论文 黄松，辛煜 宁兆元
22 Si-OH基团对SiCOH低k薄膜性能的 期刊论文 叶超 宁兆元 辛煜 王婷婷 俞笑竹
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