极薄栅介质Ge基MOS器件栅结构缺陷态及其抑制机理的研究
62004217
2020
F0405.半导体器件物理
马雪丽
青年科学基金项目
高级工程师
中国科学院微电子研究所
24万元
Ge MOS；栅结构；界面态；近界面态
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