表面等离激元纳光机电位移敏感单元的协同优化设计研究
62004166
2020
F0407.微纳机电器件与控制系统
卢乾波
青年科学基金项目
讲师
西北工业大学
24万元
微纳光传感器；表面等离激元；光位移传感器；协同优化方法；压电集成
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