基于复合亲水活化的低温直接键合技术研究

61804016
2018
F0407.微纳机电器件与控制系统
李东玲
青年科学基金项目
高级工程师
重庆大学
24万元
低温直接键合;复合亲水活化;微观机理;三维集成;界面特性
2019-01-01到2021-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Directional copper dewetting to grow graphene ribbon arrays 期刊论文 Xiaogang Li;Xuyao Xiong;Congcong Ning;Qian Yang;Dongling Li;Zegao Wang;Yan Jin;Wenbin Zhao;Baoshan Hu
2 三维纳米结构拉曼活性热点位置调控仿真研究 会议论文 文枰;杨峰;朱彦成;李东玲;陈李
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5 A comprehensive review of miniatured wind energy harvesters 期刊论文 Quan Wen;Xianming He;Zhuang Lu;Reinhard Streiter;Thomas Otto
6 低温直接键合技术及其在微型振动能量收集器能带拓展中的应用 会议论文 李东玲;兰芬芬;崔笑寒;杜茂;佘引
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9 Effect of Combined Hydrophilic Activation on Interface Characteristics of Si/Si Wafer Direct Bonding 期刊论文 Li Dongling;Cui Xiaohan;Du Mao;Zhou Ying;Lan Fenfen
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