微电子工业中低气压放电等离子体不稳性与控制的研究
69571006
1995
F0122.物理电子学
马腾才
面上项目
教授
大连理工大学
10万元
等离子体不稳定性;反馈控制;尘埃等离子体
1996-01-01到1998-12-31
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