角度限制散射投影电子束光刻的蒙特卡洛模拟

60306006
2003
F0404.半导体电子器件与集成
孙霞
青年科学基金项目
副教授
中国科学技术大学
25万元
Monte;Carlo;电子束光刻;散射;邻近效应校正;模拟
2004-01-01到2006-12-31
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序号 标题 类型 作者
1 Application of Monte Carlo Sim 期刊论文 Z.J. Ding*, H.M. Li and X. Sun
2 Monte Carlo Simulation of Seco 会议论文 Z.J. Ding, Y.G. Li, H.Y. Wang,
3 结合体构造的Monte Carlo方法模 会议论文 李会民、丁泽军*
4 Mott散射和电子极化术 期刊论文 孙霞*、丁泽军、肖沛、吴自勤
5 Monte Carlo Simulation for Low 会议论文 Z.M. Zhang*, P. Xiao, T. Chen,
6 Nucleation Behavior in the Ini 期刊论文 D.M. Wang, X. Sun, Z.J. Ding*
7 Nucleation Transition and Nucl 期刊论文 D.M. Wang, Z.J. Ding* and X. S
8 Effective Energy-Loss Function 会议论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, K. Sal
9 掺杂半导体扫描电镜二次电子像 期刊论文 孙霞*、丁泽军、吴自勤
10 Effective Energy Loss Function 会议论文
11 电子束光刻中邻近效应的Monte Ca 会议论文 孙霞*、丁泽军、肖沛、吴自勤
12 Surface Excitation Parameter i 会议论文 K. Salma, Z.J. Ding*, H.M. Li
13 Monte Carlo Simulation of SEM 会议论文 Z.J. Ding*, K. Salma, Z.M. Zha
14 Monte Carlo Simulation of Abso 期刊论文 Z.J. Ding*, H.M. Li, X.D. Tang
15 Application of Monte Carlo Sim 会议论文 Z.J. Ding* and H.M. Li
16 电子束光刻中邻近效应校正的几种 期刊论文 肖沛、孙霞*、闫继红、丁泽军
17 Monte Carlo Simulation Study o 会议论文
18 Monte Carlo Simulation of Spin 期刊论文 X. Sun* and Z.J. Ding
19 Monte Carlo simulation of seco 会议论文
20 Monte Carlo Simulation Study o 会议论文
21 Surface Excitation Probability 会议论文 Z.M. Zhang, T. Chen, Z.J. Ding
22 Surface Excitation Probabiliti 期刊论文 K. Salma, Z.J. Ding*, H.M. Li
23 电子束光刻的邻近效应及其模拟 期刊论文 孙霞*、尤四方、肖沛、丁泽军
24 Effective Energy Loss Function 期刊论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, H.M. L
25 Application of Monte Carlo Sim 期刊论文 Z.J. Ding* and H.M. Li
26 基于光电子显微镜的X射线近吸收 会议论文 张增明*、丁泽军、H. Yoshikawa
27 Energy Distribution of Backsca 会议论文 Z.J. Ding*, K. Salma, Z.M. Zha
28 投影电子束光刻中电子穿透掩膜的 期刊论文 肖沛、张增明*、孙霞、丁泽军
29 Study of X-ray Absorption Near 期刊论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, H. Yos
30 Monte Carlo Simulation Study o 期刊论文 Z.J. Ding*, K. Salma, H.M. Li,
31 First-Principles Study on the 期刊论文 X. Sun*, T. Suzuki, M. Kurahas
32 Application of Monte Carlo Sim 会议论文 Z.J. Ding*, H.M. Li, Y.T. Yue
33 Monte Carlo Simulation of Spin 会议论文 X. Sun* and Z.J. Ding
34 Monte Carlo Simulation of Seco 期刊论文 Y.T. Yue, H.M. Li and Z.J. Din
35 Analysis of the Spin Polarizat 期刊论文 X. Sun*, Z.J. Ding and Y. Yama
36 Kinetic Monte Carlo Simulation 会议论文 D.M. Wang and Z.J. Ding*
37 Photoelectron and Auger Electr 会议论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, R. Shi
38 Surface Boundary Effect in Ele 会议论文
39 Monte Carlo Simulation of Elec 会议论文
40 Monte Carlo Simulation Study o 会议论文
41 A Novel Calculation of Backsca 会议论文 W.S. Tan, Z.J. Ding*, H.M. Li
42 Energy-Loss Functions Derived 期刊论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, H.M. L
43 Improved Calculation of the Ba 期刊论文 Z.J. Ding*, W.S. Tan, Y.G. Li
44 Spin Polarization Study of CO 期刊论文 X. Sun*, S. F?orster, Q.X. Li,
45 Quantification of Surface Effe 期刊论文 K. Salma, Z.J. Ding*, H.M. Li
46 Study of X-ray Absorption Near 会议论文
47 Angular Distribution of X-ray 期刊论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, T. Kos
48 Analysis of the Spin-Polarizat 会议论文 X. Sun*, Z.J. Ding and Y. Yama
49 Monte Carlo Simulation of Proj 会议论文 X. Sun*, P. Xiao and Z.J. Ding
50 Dependence of Photoelectron an 会议论文
51 Dependence of Surface Effects 期刊论文 Z.M. Zhang*, T. Chen, R. Shimi
52 Monte Carlo Simulation of Proj 期刊论文 X. Sun*, P. Xiao and Z.J. Ding
53 Monte Carlo Simulation of Elec 会议论文 Z.J. Ding* and H.M. Li
54 模拟扫描电镜像衬度的体构件Mont 期刊论文 李会民、丁泽军*、孙霞
55 Spin Dependence of the Electro 期刊论文 X. Sun and Z.J. Ding
56 Monte Carlo Simulation for Low 会议论文 Z.M. Zhang, P. Xiao, T. Chen,
57 Electronic States in a Non-con 会议论文 Y. Ming and Z.J. Ding*
58 A Monte Carlo Simulation of Se 会议论文 H.M. Li and Z.J. Ding*
59 Monte Carlo Simulation of Seco 期刊论文 H.M. Li and Z.J. Ding
60 Monte Carlo Simulation Study o 会议论文
61 Effective Energy-Loss Function 会议论文 Z.M. Zhang*, Z.J. Ding, R. Shi
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