基于阵列式射频感性耦合微束放电的新型负氢离子源物理基础研究
12075049
2020
A2907.低温等离子体
高飞
面上项目
教授
大连理工大学
64万元
感性耦合等离子体；射频功率耦合；电子加热机制
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