新颖脉冲式气溶胶等离子体MOCVD制备功能陶瓷薄膜

20271047
2002
B0305.结构化学
孟广耀
面上项目
教授
中国科学技术大学
22万元
功能陶瓷薄膜.;燃料电池;新颖化学气相淀积.
2003-01-01到2005-12-31
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